Litografi Makinesi Maske Hizalayıcı Foto-Aşındırma Makinesi
Ürün tanıtımı
Pozlama ışık kaynağı, küçük ısı ve iyi ışık kaynağı kararlılığına sahip ithal UV LED ve ışık kaynağı şekillendirme modülünü benimser.
Ters aydınlatma yapısı iyi bir ısı dağılımı etkisine ve ışık kaynağı yakın etkisine sahiptir ve cıva lambasının değiştirilmesi ve bakımı basit ve kullanışlıdır. Yüksek büyütmeli dürbün çift alanlı mikroskop ve 21 inç geniş ekran LCD ile donatılmış olup, görsel olarak hizalanabilir
oküler veya CCD + ekran, yüksek hizalama doğruluğu, sezgisel işlem ve rahat kullanım.
Özellikler
Parça işleme fonksiyonu ile
Seviyeleme temas basıncı, sensör aracılığıyla tekrarlanabilirliği garanti eder
Hizalama boşluğu ve pozlama boşluğu dijital olarak ayarlanabilir
Gömülü bilgisayar + dokunmatik ekran kullanımı, basit ve kullanışlı, güzel ve cömert
Çekme tipi yukarı ve aşağı plaka, basit ve kullanışlı
Vakum temas maruziyetini, sert temas maruziyetini, basınç temas maruziyetini ve yakınlık maruziyetini destekleyin
Nano baskı arayüzü fonksiyonu ile
Tek tuşla tek katmanlı pozlama, yüksek otomasyon derecesi
Bu makine, özellikle kolejler ve üniversitelerdeki öğretim, bilimsel araştırma ve fabrikalar için uygun, iyi bir güvenilirliğe ve rahat bir gösteriye sahiptir
Daha fazla detay
Şartname
1. Pozlama alanı: 110mm × 110mm；
2. ★ Pozlama dalga boyu: 365nm;
3. Çözünürlük: ≤ 1m;
4. Hizalama doğruluğu: 0,8 m;
5. Hizalama sisteminin tarama tablasının hareket aralığı en azından aşağıdaki değerleri karşılamalıdır: Y: 10 mm;
6. Hizalama sisteminin sol ve sağ ışık tüpleri X, y ve Z yönlerinde ayrı ayrı hareket edebilir, X yönü: ± 5mm, Y yönü: ± 5mm ve Z yönü: ± 5mm;
7. Maske boyutu: 2,5 inç, 3 inç, 4 inç, 5 inç;
8. Örneklem büyüklüğü: parça, 2", 3", 4";
9. ★ Numune kalınlığı için uygundur: 0,5-6 mm ve en fazla 20 mm numune parçalarını destekleyebilir (özelleştirilmiş);
10. Pozlama modu: zamanlama (geri sayım modu);
11. Aydınlatmanın homojen olmaması: < %2,5;
12. Çift alan CCD hizalama mikroskobu: zum lens (1-5 kat) + mikroskop objektif lensi;
13. Maskenin numuneye göre hareket stroku en azından şu ölçüleri karşılamalıdır: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º；
14. ★ Maruz kalma enerji yoğunluğu: > 30MW / cm2,
15. ★ Hizalama pozisyonu ve pozlama pozisyonu iki istasyonda çalışır ve iki istasyon servo motor otomatik olarak geçiş yapar;
16. Seviyeli temas basıncı, sensör aracılığıyla tekrarlanabilirliği garanti eder;
17. ★ Hizalama boşluğu ve pozlama boşluğu dijital olarak ayarlanabilir;
18. ★ Nano baskı arayüzü ve yakınlık arayüzüne sahiptir;
19. ★ Dokunmatik ekran kullanımı;
20. Genel boyutlar: Yaklaşık 1400 mm (uzunluk) 900 mm (genişlik) 1500 mm (yükseklik).
