Litografi Makinesi Maske Hizalayıcı Foto-Aşındırma Makinesi
Ürün tanıtımı
Maruz kalma ışık kaynağı, küçük ısı ve iyi ışık kaynağı kararlılığına sahip ithal UV LED ve ışık kaynağı şekillendirme modülünü benimser.
Ters aydınlatma yapısı iyi bir ısı dağılımı etkisine ve ışık kaynağı yakın etkisine sahiptir ve cıva lambasının değiştirilmesi ve bakımı basit ve kullanışlıdır. Yüksek büyütmeli dürbün çift alanlı mikroskop ve 21 inç geniş ekran LCD ile donatılmış olup, görsel olarak hizalanabilir.
Yüksek hizalama hassasiyeti, sezgisel işlem ve rahat kullanım ile mercek veya CCD + ekran.
Özellikler
Parça işleme fonksiyonu ile
Seviyeli temas basıncı, sensör aracılığıyla tekrarlanabilirliği sağlar
Hizalama boşluğu ve pozlama boşluğu dijital olarak ayarlanabilir
Gömülü bilgisayar + dokunmatik ekran kullanımı, basit ve kullanışlı, güzel ve cömert
Yukarı ve aşağı çekme tipi plaka, basit ve kullanışlı
Vakum temas maruziyetini, sert temas maruziyetini, basınç temas maruziyetini ve yakınlık maruziyetini destekleyin
Nano baskı arayüzü fonksiyonu ile
Tek tuşla tek katmanlı pozlama, yüksek otomasyon derecesi
Bu makine, özellikle kolej ve üniversitelerdeki öğretim, bilimsel araştırma ve fabrikalar için uygun, iyi güvenilirliğe ve kullanışlı bir gösterime sahiptir.
Daha fazla detay
Şartname
1. Pozlama alanı: 110mm × 110mm；
2. ★ Pozlama dalga boyu: 365nm;
3. Çözünürlük: ≤ 1m;
4. Hizalama doğruluğu: 0,8 m;
5. Hizalama sisteminin tarama tablasının hareket aralığı en az aşağıdaki değerleri karşılamalıdır: Y: 10 mm;
6. Hizalama sisteminin sol ve sağ ışık tüpleri X, Y ve Z yönlerinde ayrı ayrı hareket edebilir, X yönü: ± 5mm, Y yönü: ± 5mm ve Z yönü: ± 5mm;
7. Maske boyutu: 2,5 inç, 3 inç, 4 inç, 5 inç;
8. Örneklem büyüklüğü: parça, 2", 3", 4";
9. ★ Numune kalınlığı için uygundur: 0,5-6 mm ve en fazla 20 mm numune parçalarını destekleyebilir (özelleştirilmiş);
10. Pozlama modu: zamanlama (geri sayım modu);
11. Aydınlatmanın homojen olmaması: < %2,5;
12. Çift alan CCD hizalama mikroskobu: yakınlaştırma merceği (1-5 kat) + mikroskop objektif merceği;
13. Maskenin numuneye göre hareket stroku en azından şu ölçüleri karşılamalıdır: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º；
14. ★ Maruz kalma enerjisi yoğunluğu: > 30MW / cm2,
15. ★ Hizalama pozisyonu ve pozlama pozisyonu iki istasyonda çalışır ve iki istasyon servo motoru otomatik olarak değişir;
16. Seviyeli temas basıncı, sensör aracılığıyla tekrarlanabilirliği sağlar;
17. ★ Hizalama boşluğu ve pozlama boşluğu dijital olarak ayarlanabilir;
18. ★ Nano baskı arayüzü ve yakınlık arayüzüne sahiptir;
19. ★ Dokunmatik ekran kullanımı;
20. Genel boyutlar: Yaklaşık 1400 mm (uzunluk) 900 mm (genişlik) 1500 mm (yükseklik).
