Litografi Makinesi Maske Hizalayıcı Foto-Netching Makinesi
Ürün Giriş
Maruz kalma ışık kaynağı, küçük ısı ve iyi ışık kaynağı stabilitesi ile içe aktarılan UV LED ve ışık kaynağı şekillendirme modülünü benimser.
Ters aydınlatma yapısı iyi ısı dağılma etkisine ve ışık kaynağı yakın etkiye sahiptir ve cıva lambası değişimi ve bakımı basit ve kullanışlıdır. Yüksek büyütme binoküler çift alan mikroskobu ve 21 inç genişliğinde ekran LCD ile donatılmıştır, görsel olarak hizalanabilir
Deslak veya CCD + ekran, yüksek hizalama doğruluğu, sezgisel süreç ve uygun işlem ile.
Özellikler
Parça işleme işlevi ile
Tesviye kontak basıncını, sensör yoluyla tekrarlanabilirliği sağlar
Hizalama boşluğu ve maruz kalma boşluğu dijital olarak ayarlanabilir
Gömülü bilgisayar + dokunmatik ekran çalışması, basit ve kullanışlı, güzel ve cömert
Tip yukarı ve aşağı plaka, basit ve kullanışlı çek
Vakum temas maruziyeti, sabit temas maruziyeti, basınç temas maruziyeti ve yakınlık maruziyetini desteklemek
Nano baskı arayüz işlevi ile
Bir anahtar, yüksek derecede otomasyon ile tek katman maruziyeti
Bu makine, özellikle kolej ve üniversitelerde öğretim, bilimsel araştırma ve fabrikalar için uygun olan iyi güvenilirliğe ve uygun gösterime sahiptir.
Daha Fazla Ayrıntılar
Spesifikasyon
1. Maruz kalma alanı: 110mm × 110mm ；
2. ★ pozlama dalga boyu: 365nm;
3. Çözünürlük: ≤ 1m;
4 Hizalama doğruluğu: 0.8m;
5. Hizalama sisteminin tarama tablosunun hareket aralığı en azından şu şekilde karşılanmalıdır: y: 10mm;
6. Hizalama sisteminin sol ve sağ ışık tüpleri x, y ve z yönlerinde ayrı olarak hareket edebilir, x yön: ± 5mm, y yön: ± 5mm ve z yönü: ± 5mm;
7. Maske Boyutu: 2,5 inç, 3 inç, 4 inç, 5 inç;
8. Örnek boyutu: fragman, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Numune kalınlığı için uygun: 0.5-6mm ve en fazla 20mm numune parçalarını destekleyebilir (özelleştirilmiş);
10. Pozlama Modu: Zamanlama (Geri Sayım Modu);
11. Aydınlatmanın tekdüzeliği: ＜%2.5;
12. Çift Alan CCD Hizalama Mikroskobu: Zoom lens (1-5 kez) + mikroskop objektif lens;
13. Maskenin numuneye göre hareket stroku en azından karşılanmalıdır: x: 5mm; Y: 5mm; : 6º ；
14. ★ Maruz kalma enerji yoğunluğu:> 30mw / cm2,
15. ★ Hizalama pozisyonu ve pozlama pozisyonu iki istasyonda ve iki istasyon servo motor anahtarı otomatik olarak;
16.
17. ★ Hizalama boşluğu ve pozlama boşluğu dijital olarak ayarlanabilir;
18. ★ Nano iz arayüzü ve yakınlık arayüzü vardır;
19. ★ Dokunmatik ekran çalışması;
20. Genel boyut: Yaklaşık 1400mm (uzunluk) 900mm (genişlik) 1500mm (yükseklik).
